● 0.1 微米取样在1.0 立方英尺/分(2100C);
● 0.2 微米取样在1.0 立方英尺/分(2200B);
● 量测6 个不同的微粒尺寸范围;
● 可使用联邦政府标准-209E,规范-同时计算数值;
● 可记忆400 组的数据资料;
● 内建打印机,可实时打印出资料;
● 可以在高取样流速中快速的侦测调查无尘室的等级;
● 可在适当的位置测试过滤滤网;
● 监控并保障大量的惰性气体供给的品质;
● 确认高纯洁气体的传输管路;
● 可以在电子厂和半导体的重要制程中, 监控证实该区域的状况;
● 监控LAF 区域、工作台;
● 监控生产机台;
★ 附件包括
Isokinetic 取样头附三脚架、净化滤器、打印机热感纸、电源线、操作手册
★ 可选配件
测泄漏取样头、电子讯号的(警示灯ACCESSORIES和警报声)测泄漏取样头、无电子讯号减压阀(监测如N2, CDA, Argon等惰性高压气体)、轮流监控32-孔取样转盘器(型号2432)、微粒子监控PortAll or EIS 软件、运送箱、载计数器手推车
● 量测范围:2100C - 6 通道 0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 0.7, 1.0
● 2200B - 6 通道 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 3.0, 5.0
● 取样速率:1.0立方英尺/分(28.3 公升/分)
● 流量控制:在机台背部嵌板有旋钮,可调节控制流速的流量控制器
● 真空泵浦马达:Carbon-free, non-contaminating reciprocating pump
● 零计数:每5分钟小于1颗
● 显示器:红色大型7 位数电子数子显示灯
● 雷射光源:氦氖雷射
● 资料输出:内建打印机; RS232/RS485 传输界面
● 取样和间隔时间设定:1秒 - 24小时
● 计数警报设定:0 至9,999,999
● 位置标志设定:0 至999, 会出现在打印报告上
● 计数单位:总计数,颗/立方英尺,颗/立方米
● 资料贮存:400 组
● 重叠损失:每4万粒子/ft3少于5%
● FS209E 的计算方式:用FS209E的方式计算平均值,标准偏差,标准误差
● 100 伏特,115 伏特或230 伏特,110 瓦特
● Auto CDA Purge (2100C):Purge solenoid activated by connection to CDA
● 机台尺寸:宽x 7.0" 高x 22" 深(34 x 18 x 57 公分)
● 重量:2100C 42 lbs (19KG),2200B 38 lbs (17.2KG)
★ 选购须知
● 基本侦测的范围:0.1微米(2100C),0.2微米(2200B)
● 电源 (交流电):100 伏特,115 伏特,230 伏特
● 打印机:内建式打印机 (标准) 或外接式 (非必要的)
● MFC option:Optional MFC for Argon sampling
● 相对的湿度/温度感应器;风速计